近日，東京電子宣布成功開發(fā)出一種創(chuàng)新蝕刻技術(shù)，首次將電介質(zhì)蝕刻應(yīng)用帶到了低溫范圍，使得刻蝕速率提高，能夠在堆疊超過400層的3DNAND器件中生成通道孔-今日快看
來源：和訊李顯杰
時(shí)間：2023-06-12 12:35:37
(資料圖)
近日，東京電子宣布成功開發(fā)出一種創(chuàng)新蝕刻技術(shù)，首次將電介質(zhì)蝕刻應(yīng)用帶到了低溫范圍，使得刻蝕速率提高，能夠在堆疊超過400層的3DNAND器件中生成通道孔。該創(chuàng)新技術(shù)可在短短33分鐘內(nèi)實(shí)現(xiàn)10微米深的高縱橫比蝕刻，與之前的技術(shù)相比，可將全球變暖潛能值降低84%。
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